|
2005/03/25 |
|
|
Associate Professor |
|
 |
|
| 安井利明 (YASUI TOSHIAKI) | |
| 【生年月日】 | 1965 |
| 【所属・職名】 | 豊橋技術科学大学 生産システム工学系 助教授 |
| 【学歴】 | 大阪大学基礎工学部機械工学科卒 (1989.3) |
| 大阪大学大学院基礎工学研究科物理系専攻博士前期課程修了 (1991.3) | |
| 大学大学院基礎工学研究科物理系専攻博士後期課程修了 (1994.3) | |
| 【学位】 | 工学博士 (大阪大学) 1994.3 |
| 【主要職歴】 | 1994.4大阪大学助手 システム人間系専攻機械科学分野宇宙機械講座 |
| 2002.4. 豊橋技術科学大学 工作センター専任助教授 | |
| 2005.4. 豊橋技術科学大学 生産システム工学系助教授 | |
| 【担当授業科目】 | |
| 【専門分野】 | プラズマ工学,プラズマ・イオンプロセス工学 |
| 【研究テーマ】 | シートプラズマを用いた大面積プラズマプロセスの研究 |
| マイクロ波プラズマCVD法によるダイヤモンド成膜の研究 | |
| イオンビーム支援真空蒸着法を用いた成膜法の研究 | |
| 【研究内容キーワード】 | プラズマプロセス,マイクロ波プラズマ,シートプラズマ,ダイヤモンド成膜 |
| 【所属学会】 | 応用物理学会,電気学会,日本真空協会,日本航空宇宙学会 |
| 【主要著書・論文】 | 「Electron Cyclotron Resonance Plasma Generation Using a
Planar Ring-Cusp Magnetic Field and Reentrant Coaxial Cavity」 『Journal of Vacuum Science & Technology』2105頁-2109頁 (1995.7-8) |
| 「Long ElectronCyclotron Resonance Plasma Source for Reactive
Sputtering」 『Japanese Journal of Applied Physics』5495頁-5500頁 (1996.10) |
|
| 「Generation of a long electron cyclotron resonance plasma
and its applications for plasma processing」 『Proceedings of 13th International Symposium on Plasma chemistry』444頁-449頁 (1997.8) |
|
| 「Plasma Generation and Beam Extraction on
Reentrant-Cavity-Type Electron Cyclotron Resonance Ion Source」 『Japanese Journal of Applied Physics』4787頁-4792頁 (1994.8) |
|
| 「CH4/H2を用いたマイクロ波プラズマ気相化合成におけるプラズマの特性」 『真空』646頁-649頁 (1995.7) |
|
| 【受賞歴】 | the Plasma Chemistry Prize for the best contributed paper (13th International Symposium on Plasma Chemistry) (1997) |